Механизм детально показан в "Мести Ситхов". Разберу по шагам.

Палпатин действовал по классической схеме захвата власти через кризис управляемый изнутри. Клонические войны - его рук дело с обеих сторон: он контролировал и Республику как Канцлер, и Конфедерацию сепаратистов через Дарта Тиранса и потом Grievous. Война создала запрос на сильного лидера и расширение полномочий исполнительной власти.

Сенат последовательно голосовал за передачу чрезвычайных полномочий Канцлеру - сначала для формирования армии клонов, потом расширял их с каждым новым кризисом. Это не выдумка авторов, это исторически реальная схема: так Цезарь получил диктаторские полномочия, так же работали многие авторитарные переходы 20 века.

Почему Сенат согласился на провозглашение Империи - Палпатин преподнес это как ответ на "заговор джедаев". Орден атаковал его в его кабинете (это он инсценировал через конфронтацию с Мейсом Винду), что дало политический предлог.

Почему джедаи не остановили раньше - Орден был сильно ослаблен войной, рассредоточен по всей галактике, и принципиально дистанцировался от политики. Они видели угрозу но не могли идентифицировать источник - Дарт Сидиус скрывался у них буквально под носом, а их чувствительность к Силе была притуплена из-за темной стороны.

Винду сформулировал это в фильме: "Наша способность использовать Силу ослаблена."